王静超
- 作品数：1 被引量：10H指数：1
- 供职机构：重庆大学机械工程学院机械传动国家重点实验室更多>>
- 发文基金：机械传动国家重点实验室开放基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 微/纳米定位平台的动态特性分析与试验被引量：10
- 2012年
- 为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动态试验,结果表明,平台的开环调节时间为0.812s;驱动频率为100Hz时,发生共振现象;加载小于10N时,平台具有较好的稳定性;动态试验得到压电陶瓷、电容传感器和平台的分辨率分别为4、10和45nm,且平台的重复定位精度为0.6μm.
- 林超俞松松程凯崔新辉陶友淘王静超
- 关键词：压电陶瓷驱动器动态特性
