李昕
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- FBAR技术的敏感应用与发展研究
- 2014年
- 薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
- 何杰袁小平刘荣贵许昕李昕袁媛毛海燕马晋毅
- 基于LabVIEW的跳频组件测控平台研究被引量：1
- 2013年
- 为了满足跳频组件研制过程的测控需求,通过对跳频组件的工作原理和测控需求的分析,提出了基于计算机控制的测控平台的实现方案,研究了测控平台的设计原理、硬件结构和软件设计流程,最后在LabVIEW环境下开发出了针对具体跳频类组件应用的测控平台。实验证明,该测控平台的应用提高了组件的调试、测试效率,且缩短了组件的开发周期,具有很好的推广应用价值。
- 秦伟李昕张雨
- 关键词：LABVIEW测控平台并口
- 利用ICP设备制备图形化蓝宝石基底的工艺控制被引量：1
- 2013年
- 该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和ICP刻蚀工艺控制,制作出了具有圆锥状图形结构的图形化蓝宝石基底。借助扫描电子显微镜,对该图形化蓝宝石基底进行了测量和分析。测量结果显示,基底表面上的单粒圆锥状图形结构的底部直径为(3.45±0.25)μm,刻蚀高度/深度为(1.75±0.25)μm,整个图形化蓝宝石基底成品片的均匀性控制在3%以内。
- 李燕曹亮李晖唐代华Wonsik YOO梁栋杨正兵李昕
- 关键词：蓝宝石刻蚀刻蚀设备
