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程定峰
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
云南大学物理科学技术学院云南省高校纳米材料与技术重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
环境科学与工程
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合作作者
柳清菊
云南大学物理科学技术学院云南省...
徐涛
云南大学物理科学技术学院云南省...
林毓韬
云南大学物理科学技术学院云南省...
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氧化物
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作者
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林毓韬
1篇
徐涛
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柳清菊
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程定峰
传媒
1篇
材料导报
年份
1篇
2011
共
1
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新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展
被引量:6
2011年
空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。
林毓韬
徐涛
程定峰
柳清菊
关键词:
氧化物半导体
掺杂
气敏传感器
灵敏度
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