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王兴立

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇偏焦
  • 1篇轴向
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇激光
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇武汉工程大学

作者

  • 1篇马志斌
  • 1篇邓煜恒
  • 1篇严垒
  • 1篇张璋
  • 1篇王兴立

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜被引量：1
2013年
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响,以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明:扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大;凹槽深度随激光充电电压的升高而增大,随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后,其粗糙度显著减小,利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理,能够有效去除表层石墨,从而达到理想的平整化效果。
严垒马志斌张璋邓煜恒王兴立
关键词：激光CVD金刚石膜
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