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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇微观结构
  • 1篇CU
  • 1篇MO薄膜
  • 1篇W

机构

  • 1篇昆明理工大学
  • 1篇曲靖师范学院

作者

  • 1篇刘国涛
  • 1篇郭诗玫
  • 1篇周铖
  • 1篇王丽
  • 1篇朱志军
  • 1篇周应强

传媒

  • 1篇云南冶金

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Cu-W、Cu-Mo薄膜的微观结构及显微硬度分析被引量:2
2013年
采用磁控共溅射方法分别制备了含有W和Mo两种不同成分的铜系薄膜,用EDX、XRD、SEM和纳米压痕仪对薄膜成份、结构、形貌和显微硬度进行了分析。结果表明,制备出的Cu-W和Cu-Mo薄膜均呈晶态结构,Cu-W和Cu-Mo形成了均匀的固溶体;经650℃热处理1 h后,Cu-W和Cu-Mo薄膜中晶粒长大,有富W和富Mo相从基体Cu相中弥散析出;Cu-W薄膜的显微硬度随W成分的增加先增加后降低;Cu-Mo薄膜的显微硬度随Mo成分的增加而持续升高,薄膜退火态的显微硬度低于沉积态。分析认为,以上结果的产生均因添加W、Mo所引起的晶粒细化效应和薄膜的热稳定性较差所致。
王丽郭诗玫周应强朱志军周铖刘国涛
关键词:微观结构
共1页<1>
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