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王丽
作品数:
1
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供职机构:
同济大学
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发文基金:
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相关领域:
理学
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合作作者
安振连
同济大学
李军
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吴贤勇
同济大学
付晓明
同济大学
夏钟福
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张鹏锋
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安振连
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王丽
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1篇
2004
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用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
2004年
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
吴贤勇
付晓明
夏钟福
安振连
张鹏锋
王丽
李军
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微型化
表面电导
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