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毕大鹏
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
天津大学电子信息工程学院
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天津市科技攻关项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
白天
天津大学电子信息工程学院
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天津大学电子信息工程学院
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天津大学电子信息工程学院
王秀宇
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毕大鹏
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2009
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金属膜电阻器用高阻靶材制备工艺研究
被引量:1
2009年
金属膜电阻器用的靶材是影响膜质量和电阻器性能的重要因素之一,晶粒细化是炼制致密性靶材的关键。晶粒细化不仅有利于Cr-Si靶材内部组织均匀化,且能降低其韧脆转变温度,从而使炼制的靶材强度和硬度高、塑性好,提高靶材的成品率。分析了晶粒细化提高靶材综合性能的原因,并介绍了研究中所采用的Ti细化剂、磁力搅拌等晶粒细化措施。实验表明,在RJ24生产线上溅射的1 MΩ金属膜电阻器具有较好的性能,且电阻温度系数均小于20×10-6/℃。
王秀宇
张之圣
白天
刘志刚
毕大鹏
关键词:
金属膜电阻器
电阻温度系数
磁控溅射
晶粒细化
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