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李洪飞
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
于虹
东南大学电子科学与工程学院微电...
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静电驱动
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混频
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东南大学
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于虹
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黄庆安
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李洪飞
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1篇
传感技术学报
年份
1篇
2008
共
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基于静电驱动NEMS混频器结构设计与分析
被引量:1
2008年
提出了一种采用新型纳米梁结构利用静电驱动实现混频的NEMS混频器的工作原理。通过在两个双端固支梁中间加一平板质量块作为静电驱动与检测输出电极,可以明显提高纳米尺度下静电驱动静电力的大小以及电容信号输出强度,减少平板电容边缘效应的影响。采用双梁结构对于中间质量块而言回复力得到了提高,有利于提高谐振频率同时有效地抑制了梁扭转模态的干扰。在详细分析双梁结构静电驱动信号选取方式以及真空下动力学模型基础上,利用Lindstedt-Poincare方法推导出系统的幅频关系式。
李洪飞
于虹
黄庆安
关键词:
混频器
静电驱动
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