张兴宇
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中南大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于ELM的芯片固化炉炉温建模方法被引量：1
- 2015年
- 利用一种较新的数据学习方法——极限学习机(Extreme learning machine,ELM),对芯片固化炉炉温进行了基于数据的建模与预测。其数据信息由当固化炉在指定温度工作时,在MATLAB/Simulink环境下,通过d SPACE实时仿真平台采集得来。从实验结果看出,该模型预测精度高、运算速度快,对工业上有快速、准确需求的实时自动化控制有较高的实际应用价值。
- 张兴宇徐康康王鑫
- 基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制被引量：2
- 2016年
- 固化炉是微电子制造过程的重要设备,它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题,将最小二乘法及阶跃响应法相结合,在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型,基于扰动观测器(disturbance observer)对芯片固化炉设计了解耦控制系统,实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明,该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响,超调和稳态误差都较小,在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。
- 王鑫沈平张兴宇
- 关键词：固化炉最小二乘法扰动观测器解耦控制
