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候志坚

作品数:1 被引量:4H指数:1
供职机构:山东大学机械工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇柔顺
  • 1篇切片

机构

  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇葛培琪
  • 1篇桑波
  • 1篇高玉飞
  • 1篇候志坚

传媒

  • 1篇润滑与密封

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应被引量:4
2006年
基于流体动压理论,研究了单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应。通过自柔顺系数来体现锯丝各节点受径向力作用下所产生位移的差异,并以此建立了油膜厚度方程。运用有限差分法求解二维Reynolds方程,得到了流体动压力及膜厚的分布曲线。分析讨论了工况参数对最小油膜厚度的影响,表明最小油膜厚度随着走丝速度及研磨液粘度的增加而增加,随着锯丝转角的增加而减小。
桑波葛培琪候志坚高玉飞
关键词:单晶硅
共1页<1>
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