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邓晓芳

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：长春大学理学院更多>>
发文基金：吉林省自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇压痕
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压痕
  • 1篇SINX
  • 1篇脆性
  • 1篇脆性断裂

机构

  • 1篇长春大学

作者

  • 1篇安涛
  • 1篇王丽丽
  • 1篇宋立军
  • 1篇邓晓芳

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiN_x薄膜在纳米压痕下的变形和断裂行为被引量：1
2016年
利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了厚度为1μm的非晶SiN_x薄膜,采用纳米压痕方法研究了薄膜的变形和断裂行为。傅立叶变换红外光谱显示实验获得了较为纯净的SiN_x薄膜。SiN_x薄膜在纳米压痕下呈现出放射状的脆性断裂特征,随着压入深度的增大,放射状裂纹的长度逐渐增加。最大压入深度达到1 500nm时,薄膜和衬底间出现了扇形的界面断裂,并且这一界面断裂是在卸载过程中发生的。到最大压入深度达到2 500nm时,原位原子力显微镜照片可以清晰的观察到界面断裂及放射状裂纹。界面断裂韧性计算结果表明,SiN_x薄膜和Si(111)衬底间易形成脆性较大的共价结构界面,这是其界面断裂韧性较小的原因。
安涛邓晓芳王丽丽宋立军
关键词：SINX纳米压痕脆性断裂
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