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张贵红

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：南昌航空大学自动化学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微光学
  • 1篇微光学元件
  • 1篇芯模
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇光学
  • 1篇光学元件
  • 1篇分辨率

机构

  • 1篇南昌航空大学

作者

  • 1篇李平贵
  • 1篇刘智怀
  • 1篇何兴道
  • 1篇龚勇清
  • 1篇张贵红

传媒

  • 1篇中国西部科技

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微光学元件芯模的光刻工艺研究被引量：2
2008年
光刻法作为微光学元件的主要生产工艺,如何提高光刻加工工艺已经成为一个日益紧迫的问题。本文使用北京化学试剂研究所生产的BP-213系列紫外正型光刻胶,以分辨率板直接作为参考对象来判别光刻工艺的分辨率,并且在优化各控制变量的前提下,得出最佳工艺参数并对噪声进行分析。
李平贵龚勇清何兴道刘智怀张贵红
关键词：微光学分辨率光刻胶
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共1页<1>
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