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董群

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司更多>>
相关领域：交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 1篇镀膜技术
  • 1篇真空镀膜
  • 1篇溅射
  • 1篇反应溅射

机构

  • 1篇沈阳新松机器...

作者

  • 1篇韩旭
  • 1篇于海
  • 1篇董群
  • 1篇朱琳

传媒

  • 1篇装备制造技术

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
反应溅射镀膜技术与离子镀技术的异同被引量：1
2015年
反应磁控溅射技术与离子镀技术在薄膜特点、成膜环境以及使用范围等方面有很多相同之处,从本质上来看都属于溅射镀膜技术,但从产生机理上看还是有一些区别的,本文将从两种技术的发生原理、常见特点和工艺角度阐述其不同点。
韩旭朱琳董群于海
关键词：真空镀膜
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