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李岳
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
国防科学技术大学研究生院
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相关领域:
金属学及工艺
冶金工程
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合作作者
龙会跃
国防科学技术大学研究生院
邱小莎
中国电子科技集团公司
钟新华
中国电子科技集团公司
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作者
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钟新华
1篇
邱小莎
1篇
龙会跃
1篇
李岳
传媒
1篇
工业加热
年份
1篇
2009
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快速退火炉热源及其温度均匀性设计
被引量:1
2009年
根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源分区的设计思想。
龙会跃
李岳
邱小莎
钟新华
关键词:
晶片
功率密度
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