宋健
- 作品数：5 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 投影光刻机TTL对准原理与故障分析被引量：2
- 2016年
- 论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分析以及解决方法。
- 张文雅宋健
- 关键词：氦氖激光器投影光刻机
- 大功率UPS的工作原理及应用
- 2007年
- 论述了各种因市电供电故障原因给半导体设备带来的危害,说明为了保证半导体生产线某些重要设备长期安全运行采用大功率UPS提供高质量供电的必要性。由于近代电力电子技术的不断发展,新的调制理论和器件的应用,使得UPS性能得到极大的提高,其输出功率现在可达到1000kV·A以上,输出近乎完美的正弦波电压波形,满足了各种负载需求。并论述了近代发展起来的UPS核心技术SPWM的原理和基于SPWM技术设计的三进三出逆变器以及4种类型的UPS的工作原理及重要技术参数。
- 宋健朱鹏张文雅雷宇
- 关键词：UPSSPWMIGBT
- Cymer准分子激光器的工作原理及应用被引量：2
- 2008年
- 论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块。在应用方面,论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用,最后论述了激光气体的安全使用,防止对工作人员造成伤害。
- 宋健朱鹏张文雅雷宇
- 关键词：准分子激光器二聚物投影光刻机
- NSR-1755i7A投影光刻机自动对准故障分析被引量：2
- 2008年
- 在半导体设备当中投影光刻机应是最为精密复杂的设备,其维修工作具有高度的技术性。论述了NSR1755i7A投影光刻机自动对准系统的工作原理,并分析了两例自动对准系统故障和排除故障的过程,最后提出对此类故障检查的一般原则。
- 宋健朱鹏张文雅雷宇
- 关键词：双频激光干涉LSA
- 基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析被引量：1
- 2016年
- 介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法,并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理,结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤。
- 张文雅宋健
- 关键词：投影光刻机双频激光干涉仪多普勒效应
