陈贺
- 作品数：4 被引量：19H指数：3
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 微纳测量机测头弹性结构的参数设计被引量：10
- 2013年
- 根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综合考虑测量刚度、灵敏性及结构紧凑稳定等多种因素,选择十字型结构作为微纳米测量机测头的弹性结构,并对其进行了结构参数的优化和测头刚度各向同性设计。搭建了高精度三维微位移测试平台,对测头的测量范围、线性、位移误差进行了实验验证。仿真分析和实验结果表明,测头的弹性结构满足测量范围40μm×40μm×20μm、测量刚度小于0.5mN/μm及刚度各向同性的要求,整体测量误差小于100nm。
- 陈晓怀陈贺王珊李瑞君高伟
- 关键词：坐标测量机有限元分析
- 微纳米测量机测头结构的参数设计及分析被引量：8
- 2013年
- 设计了一种高精度的接触扫描式测头，提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求，选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析，分析结果表明设计的测头测量范围达到40μm×40μm×20μm，测量刚度小于0．5mN／μm，各向同性也符合设计要求。
- 陈贺陈晓怀王珊杨桥李瑞君
- 关键词：计量学
- 微纳米测量机工作台的结构及性能分析被引量：6
- 2012年
- 对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静、动态性能分析。比较了不同结构的X、Y工作台的静态变形和刚度;对三维工作台进行了模态和谐响应分析,得到振动频率和振动位移。分析表明:合理的结构设计能够减小工作台的变形量,增加工作台的稳定性;工作台受驱动不会产生共振,动态性能满足要求。
- 陈贺陈晓怀
- 关键词：性能分析
- 一种基于DVD读取头的非接触触发探头被引量：1
- 2012年
- 文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分辨率优于1nm,测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。
- 高伟陈晓怀陈贺
- 关键词：纳米三坐标测量机
