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陈润

作品数：16 被引量：17H指数：2
供职机构：广东工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 15篇抛光
  • 8篇抛光液
  • 7篇抛光加工
  • 6篇动压
  • 6篇流体动压
  • 6篇磨粒
  • 6篇磁流变
  • 5篇抛光装置
  • 4篇复合抛光
  • 3篇夹具
  • 3篇磁流变流体
  • 2篇氧化剂
  • 2篇膛线
  • 2篇铁磁
  • 2篇稳定剂
  • 2篇磨料
  • 2篇内表面
  • 2篇金刚石
  • 2篇金刚石磨料
  • 2篇活塞

机构

  • 16篇广东工业大学

作者

  • 16篇陈润
  • 15篇阎秋生
  • 14篇路家斌
  • 4篇肖晓兰
  • 3篇潘继生
  • 2篇张晓伟
  • 1篇于鹏
  • 1篇肖晓兰
  • 1篇王灿明

传媒

  • 1篇广东工业大学...

年份

  • 4篇2018
  • 2篇2017
  • 10篇2016
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件，所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述磁性体设于所述抛光盘的下方，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工...
路家斌梁华卓阎秋生陈润
文献传递
基于芬顿反应的单晶SiC化学机械抛光加工研究
单晶SiC作为第三代半导体材料，因具备禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速率高、抗辐射能力强等优越性能，是固态光源和电力电子、微波射频器件的“核芯”，在半导体照明、新一代移动通信、能源互联网、高速轨道交通、新...
陈润
关键词：芬顿反应羟基自由基化学机械抛光半导体材料
一种针对集群微孔的自增压高速磨粒流抛光装置
本实用新型提供了一种针对集群微孔的自增压高速磨粒流抛光装置，其包括两组对称设置于被加工工件的左右两端的流体增压加速机构、夹具及保护架；所述保护架匹配地设置于工件的左右两端且与工件孔相连通；所述流体增压加速机构包括流体增压...
陈润路家斌阎秋生张晓伟梁华卓
文献传递
一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
本发明提供了一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法，其核心配方由A、B两部分构成，A配方包含3wt％～10wt％的磨粒、5wt％～30wt％的磁性微粒、1wt％～10wt％的分散稳定剂、基载液；B配方包含...
肖晓兰阎秋生潘继生路家斌陈润梁华卓
文献传递
超精密磁流变复合抛光技术研究进展被引量：14
2016年
对超精密磁流变复合抛光技术的国内外研究进展进行了评述,介绍了当前主要应用的几种超精密磁流变复合抛光技术的加工原理和发展现状.重点介绍了磁流变射流复合抛光、超声波磁流变复合抛光、化学机械磁流变复合抛光以及集群磁流变复合抛光的加工技术内涵,从加工效率、加工表面均匀性、加工精度、加工适合的材料与形状等方面对上述几类超精密磁流变复合抛光方法进行比较和评述.最后对超光滑无损伤超精密磁流变抛光技术的发展方向进行了预测.
肖晓兰阎秋生潘继生于鹏梁华卓陈润
关键词：超精密磁流变复合抛光
一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种半导体基片的流体动压抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘和待抛光件，所述第一转轴和第二转轴相互平行，且所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工件盘...
路家斌梁华卓阎秋生陈润
文献传递
一种自增压高速磨粒流孔内表面抛光装置
本发明提供了一种自增压高速磨粒流孔内表面抛光装置，其包括两组对称设置于被加工工件的左右两端的流体增压加速机构及夹具，所述流体增压加速机构包括流体增压加速腔体、活塞缸、活塞、活塞杆和驱动单元，所述流体增压加速腔体的一端通过...
路家斌陈润阎秋生肖晓兰梁华卓
文献传递
一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
本发明提供了一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法，其核心配方由A、B两部分构成，A配方包含3wt％～10wt％的磨粒、5wt％～30wt％的磁性微粒、1wt％～10wt％的分散稳定剂、基载液；B配方包含...
肖晓兰阎秋生潘继生路家斌陈润梁华卓
文献传递
一种磁流变流体动压复合抛光装置
本实用新型公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件，所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述楔形结构包括销轴和楔块，所述销轴固定安装于所述抛光盘的上...
梁华卓路家斌阎秋生陈润
文献传递
一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件，所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述磁性体设于所述抛光盘的下方，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工...
路家斌梁华卓阎秋生陈润
文献传递
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