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郝芳

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:杭州电子科技大学电子信息学院更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射线衍射
  • 1篇无损检测
  • 1篇光谱
  • 1篇反射光
  • 1篇反射光谱
  • 1篇UV-VIS
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇ALGAN
  • 1篇HRXRD

机构

  • 1篇杭州电子科技...
  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇毛启楠
  • 1篇季振国
  • 1篇席俊华
  • 1篇袁苑
  • 1篇冯丹丹
  • 1篇陈敏梅
  • 1篇郝芳

传媒

  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
利用HRXRD和UV-Vis反射光谱确定AlGaN/GaN/Al2O3的结构与成分被引量:1
2008年
结合紫外-可见光谱和高分辨XRD两种测试方法,无损、可靠地确定了AlGaN/GaN HEMT结构内各层的厚度、成分、应力等参数,解决了高分辨XRD无法同时确定成分与应力的难题。这两种方法的好处是样品不需经过特殊的处理,也不需进行切割、减薄等工艺,具有快速、无损、准确的特点,可以作为AlGaN/GaNHEMT器件的筛选工具,提高器件的成品率、降低生产成本。
季振国冯丹丹席俊华毛启楠袁苑郝芳陈敏梅
关键词:X射线衍射无损检测
共1页<1>
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