您的位置： 专家智库 > >

郑锡鑫

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：华南理工大学理学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能分析
  • 1篇铝膜
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇AFM
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇华南理工大学

作者

  • 1篇徐海红
  • 1篇张红
  • 1篇温浪明
  • 1篇张勋
  • 1篇何建梅
  • 1篇庄炜培
  • 1篇章晨
  • 1篇郑锡鑫

传媒

  • 1篇物理实验

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究被引量：6
2007年
用原子力显微镜(AFM)对直流溅射和射频溅射制备铝膜的表面粗糙度及颗粒大小进行了分析比较.实验结果表明:溅射功率和溅射时间对铝膜表面粗糙度有影响,通过延长溅射时间或提高溅射功率可使膜的平均颗粒直径增大.
何建梅温浪明章晨张勋郑锡鑫庄炜培张红徐海红
关键词：铝膜表面粗糙度溅射功率AFM
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0