王正忆
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：浙江大学理学部更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 光学薄膜椭圆偏振数据反演的优化算法被引量：1
- 2012年
- 运用C++语言通过变步长循环的优化算法开发数据处理程序,利用2组数据确定了多周期真实厚度.通过计算SiO2和ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,发现此方法计算结果可以达到较高的精度.对于有吸收的薄膜,利用量子力学原理计算粒子出现在某一点的概率,通过蒙特卡罗模拟的方式来测量粒子的位置,从而对粒子进行刷新.通过基于量子行为粒子群优化和模拟退火的混合算法设计的程序进行计算,可很快跳出局部极小收敛达到全局最优点,在保证精度的同时达到较快的收敛速度.
- 童晟飞王正忆陈星
- 关键词：光学薄膜粒子群算法模拟退火算法
- 优化算法开发测量薄膜折射率及厚度数据分析软件
- 童晟飞王正忆陈星鲍德松
- 椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析被引量：4
- 2011年
- 运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度。通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度。
- 陈星童晟飞王正忆叶兵
- 关键词：椭圆偏振薄膜厚度
