玄伟
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 供职机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
- 发文基金：吉林大学研究生创新基金资助国家高技术研究发展计划吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程电子电信更多>>
- 扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析被引量：9
- 2006年
- 基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,当考虑空气阻尼时,悬臂梁的运动轨迹与忽略空气阻尼时相比较发生相当大的改变,从而吸合(pull-in)电压和响应时间等计算结果也发生改变。因此,对于微机电系统(MEMS)器件的设计和制作,空气阻尼效应是影响其性能和工作条件的重要因素。最后,介绍了一种光学测量方法,可用于器件的响应时间和悬臂梁扭转角度等参数的测试,得到的实验结果与理论分析结果有较好的吻合。
- 孙东明董玮玄伟刘彩霞王国东陈维友
- 关键词：微驱动器静电驱动动力学分析
- 扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析被引量：3
- 2006年
- 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
- 孙东明董玮玄伟刘彩霞王国东陈维友
- 关键词：微驱动器静电驱动
- 8×8 MEMS光开关阵列的制作
- 2006年
- 采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.
- 贾翠萍董玮周敬然刘彩霞臧会东玄伟徐宝琨陈维友
- 关键词：光开关微反射镜开关时间
