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李书昌
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
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发文基金:
广东省科技计划工业攻关项目
广东省大学生创新实验项目
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相关领域:
理学
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合作作者
刘锐森
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
汤皎宁
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
谷坤明
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
佘博西
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
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电子回旋共振
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类金刚石膜
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深圳大学
作者
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佘博西
1篇
谷坤明
1篇
汤皎宁
1篇
刘锐森
1篇
李书昌
传媒
1篇
润滑与密封
年份
1篇
2012
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1
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ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究
被引量:1
2012年
为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响。结果表明:改变溅射电流能有效地控制类金刚石膜中金属含量,拉曼光谱显示,制备的薄膜为典型的类金刚石薄膜结构;Cu的掺入使得类金刚石膜的硬度和耐磨损性能下降,但在一定溅射电流下可得到薄膜结构及机械性能均较好的掺Cu类金刚石膜。
佘博西
李书昌
谷坤明
刘锐森
汤皎宁
关键词:
类金刚石膜
电子回旋共振
中频磁控溅射
气相沉积
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