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李书昌

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目广东省大学生创新实验项目深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子回旋共振
  • 1篇气相沉积
  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇ECR
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇深圳大学

作者

  • 1篇佘博西
  • 1篇谷坤明
  • 1篇汤皎宁
  • 1篇刘锐森
  • 1篇李书昌

传媒

  • 1篇润滑与密封

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究被引量：1
2012年
为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响。结果表明:改变溅射电流能有效地控制类金刚石膜中金属含量,拉曼光谱显示,制备的薄膜为典型的类金刚石薄膜结构;Cu的掺入使得类金刚石膜的硬度和耐磨损性能下降,但在一定溅射电流下可得到薄膜结构及机械性能均较好的掺Cu类金刚石膜。
佘博西李书昌谷坤明刘锐森汤皎宁
关键词：类金刚石膜电子回旋共振中频磁控溅射气相沉积
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