张立钧
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区更多>>
- 发文基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列的设计与制备被引量：4
- 2014年
- 设计并制备了一种高集成度、低成本、低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的Y分支的损耗、弯曲损耗进行数值模拟。综合考虑器件尺寸和损耗参数,设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1 500μm,引入优化的锥口Y分支结构和垂直相交波导结构。采用标准半导体制作工艺制备器件,测试得到了器件的红外输出光斑,延迟线延迟时间分别为0、113、226和339 ps。4通道二氧化硅延迟线阵列能实现相邻通道相等的延迟时间间隔,且可通过集成实现延迟时间的增加,同时输出端可以与光纤阵列集成。
- 李浩宋玲玲张立钧王焕然李亮王菲衣云骥张大明
- 关键词：二氧化硅
- 聚合物／SiO2混合波导2×2热光开关的制备与测试被引量：4
- 2014年
- 利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层、无机材料SiO2作为下包层,设计并制备了一种有机/无机混合波导2×2定向耦合-马赫曾德尔(DC-MZI)热光开关。为了保证波导中的单模传输、减小模式辐射和衬底泄露损耗、缩短响应时间并降低器件功耗,对其结构参数做了优化。利用涂膜、湿法刻蚀等工艺制备了器件样品。在1 550nm波长下,器件的交叉态和直通态的驱动功率分别为0和7.8mW(开关功率为7.8mW),交叉态和直通态的两端口串扰分别为-9dB和-12.8dB。在方波驱动电压信号作用下,测得器件交叉端口的上升时间和下降时间分别为138μs和136μs,直通端口的上升时间和下降时间分别为63μs和140μs。制备的混合结构器件综合利用了芯层聚合物材料热光系数大、上/下缓冲层厚度均较小以及Si/SiO2导热系数大的优点,因此同时具备了较低的功耗和较快的响应时间,在低功耗、快速光通信系统中具有较好的应用前景。
- 梁磊曲禄成张立钧郑传涛孙小强王菲张大明
- 关键词：集成光电子器件平面光波导器件热光开关
