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苏畅
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西北师范大学物理与电子工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
尚小荣
西北师范大学物理与电子工程学院
马李刚
西北师范大学物理与电子工程学院
马书懿
西北师范大学物理与电子工程学院
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西北师范大学...
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1篇
2011
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氧分压对Cu掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响
被引量:1
2011年
采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO∶Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同氧分压对ZnO∶Cu薄膜的微观结构和光学特性的影响.研究结果显示,随着氧分压的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时(100)(、101)和(110)衍射峰在(002)衍射峰增加时减小,表明氧分压可以影响ZnO∶Cu薄膜的结晶取向.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过70%,同时随着氧分压的增加,薄膜的光学带隙值先增大后减小.通过对光致发光的研究表明,射频磁控溅射法在低氧和高氧环境条件下都可制得好的发光薄膜.
马书懿
尚小荣
马李刚
苏畅
关键词:
氧分压
磁控溅射
光学特性
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