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聂丹丹

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：北京理工大学信息与电子学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇数学
  • 1篇数学建模
  • 1篇微机电系统
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇热特性
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇仲顺安
  • 1篇刘汝卿
  • 1篇王竹萍
  • 1篇聂丹丹

传媒

  • 1篇北京理工大学...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型热式剪应力传感器的热特性建模被引量：2
2010年
为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比.结果表明,所建立的数学模型是合理的.
王竹萍仲顺安聂丹丹刘汝卿
关键词：数学建模灵敏度
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共1页<1>
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