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王颖男

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇等离子体加工
  • 1篇电容耦合
  • 1篇电容耦合放电
  • 1篇去除速率
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇光学
  • 1篇光学元件
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇杭凌侠
  • 1篇胡敏达
  • 1篇王颖男

传媒

  • 1篇表面技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体加工光学元件工艺研究被引量：6
2008年
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化。结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工。
王颖男杭凌侠胡敏达
关键词：超光滑表面电容耦合放电表面粗糙度去除速率
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共1页<1>
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