李贺
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 掺氮氧化钒薄膜的椭偏光谱表征被引量:1
- 2011年
- 利用反应溅射法,在Si(100)衬底上沉积了掺N氧化钒薄膜。借用SE850椭偏仪对薄膜进行了近红外波段(1 300~2 300 nm)的光谱测量,运用Tauc-Lorentz模型对薄膜的椭偏光谱数据进行了拟合,并计算了薄膜的光学参数(n,k)和厚度。结果表明:随着掺N量的增加,氧化钒薄膜的光学参数(n,k)随之增加,而其沉积速率则随之降低。这可能源于掺N增加了薄膜的致密度,同时减小了氧化钒的光学带隙。
- 李贺顾德恩王涛吴志明蒋亚东
- 关键词:反应溅射椭偏仪氧化钒薄膜掺氮
- 氧化钒薄膜光伏效应机理分析
- 2011年
- 氧化钒薄膜是非致冷红外焦平面探测器的重要组成部分,光电特性一直是国内外的研究热点。用反应磁控溅射方法在K9玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜,并在特定条件下对其进行了退火处理。结果发现,在300℃下退火180s的氧化钒薄膜在可见光照射情况下呈现出了光伏效应,这说明光生载流子在氧化钒薄膜表层形成后得到了有效分离。该光伏特性为氧化钒薄膜在光电探测器中的应用拓展提供了有力的理论依据。
- 卢小铃王涛李贺董翔顾德恩蒋亚东
- 关键词:氧化钒薄膜退火光伏效应