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何晓宇

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十七研究所更多>>
发文基金：辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式压力传...
  • 1篇有限元
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇沈阳工业大学
  • 1篇沈阳化工学院
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇揣荣岩
  • 1篇王健
  • 1篇张大为
  • 1篇刘伟
  • 1篇何晓宇
  • 1篇王健

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器被引量：4
2009年
多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器芯片。实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高。
王健王健揣荣岩何晓宇刘伟
关键词：压力传感器有限元
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