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金娜

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子科技集团公司第四十七研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇均匀性
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路参数

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇杨斌
  • 1篇金娜
  • 1篇郭志扬

传媒

  • 1篇微处理机

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
集成电路参数均匀性的研究
2006年
研究器件参数在硅圆片上的分布规律,分析其原因,找到关键的工艺因素,从而对工艺过程进行更精确的控制。
杨斌郭志扬金娜
关键词:均匀性
共1页<1>
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