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金娜
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1
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十七研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郭志扬
中国电子科技集团公司第四十七研...
杨斌
中国电子科技集团公司第四十七研...
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中国电子科技...
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杨斌
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郭志扬
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1篇
2006
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集成电路参数均匀性的研究
2006年
研究器件参数在硅圆片上的分布规律,分析其原因,找到关键的工艺因素,从而对工艺过程进行更精确的控制。
杨斌
郭志扬
金娜
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均匀性
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