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甘志银

作品数：23 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉大学更多>>
相关领域：理学电子电信文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇中文专利

领域

  • 3篇理学
  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 10篇激光
  • 6篇单晶金刚石
  • 6篇金刚石
  • 6篇光谱
  • 6篇刚石
  • 4篇导体
  • 4篇等离子体化学...
  • 4篇微波等离子体
  • 4篇微波等离子体...
  • 4篇化学气相
  • 4篇化学气相沉积
  • 4篇激光加工
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体薄膜
  • 3篇等离子体刻蚀
  • 3篇短脉冲激光
  • 3篇脉冲
  • 3篇脉冲激光
  • 3篇刻蚀
  • 3篇超短

机构

  • 23篇武汉大学

作者

  • 23篇刘胜
  • 23篇甘志银
  • 3篇郑怀
  • 2篇王彪
  • 2篇彭庆
  • 2篇陈斌
  • 2篇梁康
  • 2篇林栋
  • 1篇陈飞
  • 1篇王国平
  • 1篇占必红
  • 1篇周圣军

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 7篇2021
  • 8篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法
本申请提供一种激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法，涉及激光加工技术领域，能够在对被加工件进行无损的精密加工时，对被加工件加工表面进行瞬态过程的高时间分辨能力的检测成像。包括第一激光束，通过第一偏振旋转器的...
刘胜东芳雷诚甘志银甘宗松翁跃云
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可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备
本发明公开了一种可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备，在进行薄膜材料生长的过程中，采用光谱检测装置对等离子辉光的发射光谱以及薄膜材料的生长温度等信息进行监测和分析，并采用X射线检测技术，对材料生长过程中的表面状...
刘胜吴改东芳汪启军甘志银曹强
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一种电阻加热丝制作方法
本发明公开了一种电阻加热丝制作方法，准备好钨金属基板、微米级钨粉和高发射率纳米材料；将微米级钨粉和高发射率纳米材料加入聚乙烯醇(PVA)水悬浮液中，并利用磁力搅拌器搅拌均匀；使用浸渍法将微米级钨粉和高发射率纳米材料混合物...
刘胜郑晨居甘志银郑怀林栋彭庆陈斌
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一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置
本发明公开了一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置，其采用连续激光对半导体薄膜材料的散射光谱进行激发和采集，能够快速、无损地判断半薄膜材料整体及局部区域的晶体质量，然后通过皮秒、飞秒等超短脉冲高能激光束对半导体薄膜材料...
刘胜吴改汪启军东芳曹强甘志银
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高效大尺寸单晶金刚石的生长方法和装置
本发明提供一种高效大尺寸单晶金刚石的生长方法和装置。本发明所提供的生长方法，包括如下步骤：将金刚石衬底放置于微波谐振腔中的基片台上；将含有碳源和氢气的反应气体通过喷头送入激光解离腔内进行充分电离；在基片台和喷头之间施加电...
刘胜汪启军甘志银曹强
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一种高效调控CVD单晶金刚石局部区域位错密度的方法
本发明公开了一种高效调控CVD单晶金刚石局部区域位错密度的方法。本方法采用等离子体刻蚀、表面形貌检测以及正交偏光成像等复合技术，能够快速、无损判断金刚石衬底中的高位错密度区域。通过飞秒激光等高能粒子束，对金刚石衬底中高位...
刘胜吴改汪启军东芳曹强甘志银
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激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法
本申请提供一种激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法，涉及激光加工技术领域，能够在对被加工件进行无损的精密加工时，对被加工件加工表面进行瞬态过程的高时间分辨能力的检测成像。包括第一激光束，通过第一偏振旋转器的...
刘胜东芳雷诚甘志银甘宗松翁跃云
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可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备
本发明公开了一种可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备，在进行薄膜材料生长的过程中，采用光谱检测装置对等离子辉光的发射光谱以及薄膜材料的生长温度等信息进行监测和分析，并采用X射线检测技术，对材料生长过程中的表面状...
刘胜吴改东芳汪启军甘志银曹强
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MOVCD中的激光等离子复合清洗装置
MOVCD中的激光等离子复合清洗装置，包括一套或多套旋转折叠机械臂以及等离子与激光复合清发生洗装置，旋转折叠机械臂前端安装等离子激光复合清洗头；等离子激光复合清洗头包括两块导电金属板，导电金属板两端连接有绝缘板，绝缘板外...
刘胜东芳甘志银周振
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一种高效调控CVD单晶金刚石局部区域位错密度的方法
本发明公开了一种高效调控CVD单晶金刚石局部区域位错密度的方法。本方法采用等离子体刻蚀、表面形貌检测以及正交偏光成像等复合技术，能够快速、无损判断金刚石衬底中的高位错密度区域。通过飞秒激光等高能粒子束，对金刚石衬底中高位...
刘胜吴改汪启军东芳曹强甘志银
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