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王锡明

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：合肥学院机械工程系更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇微机电系统
  • 1篇微结构
  • 1篇机电系统
  • 1篇残余应力
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇合肥学院
  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇周嘉
  • 1篇王军军
  • 1篇王锡明

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多层薄膜微结构热应力计算被引量：5
2007年
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。
王锡明王军军周嘉
关键词：微机电系统残余应力
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