李新鹏
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程更多>>
- 用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究
- 2015年
- 为了改善薄膜太阳电池表面抗反射特性,提高其对光的吸收率,在玻璃基体上制备了一种新的微纳抗反射结构,即微半球孔阵列,其周期约为10μm、深度约5μm。测试了微半球孔阵列结构的光学特性,得到这种结构的平均反射率约为1.7%,同平板无结构的玻璃相比,平均反射率降低了约6%。由测试结果可知,微半球孔阵列结构的抗反射性能得到改善,增强了薄膜太阳电池对光的捕获能力。采用紫外光刻、离子束刻蚀与湿法刻蚀相结合的工艺,整个制备工艺较简单,成本低廉,可以实现大面积应用。
- 李新鹏王庆康李海华
- 关键词：抗反射反射率离子束刻蚀薄膜太阳电池
