张凯
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西安邮电大学电子工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究被引量：1
- 2014年
- 为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
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- 关键词：半导体芯片音圈电机
- 基于8051的激光散斑控制器
- 2014年
- 针对激光显微成像出现的散斑,提出在光线光路中振动光线控制散斑的方法。具体以8051芯片为处理器,控制AD9850-DDS芯片产生不同频率的信号,并用ULN2003增强输出,控制固定在音圈电机上的多模光纤振动,最后通过CCD所采集图像散斑对比度验证方法。利用上述方法得到结论:在将设计的散斑控制系统应用于激光显微成像,控制频率为50Hz时,采集图像的散斑噪声获得最小值,并且采用40X显微物镜实现了CD-R盘片的高分辨激光显微成像。
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- 关键词：激光散斑高分辨率
