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何国庆

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：重庆大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家科技支撑计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇挡板
  • 1篇转盘
  • 1篇可编程控制
  • 1篇可编程控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇基片
  • 1篇溅射
  • 1篇编程控制
  • 1篇编程控制器
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇程控制

机构

  • 1篇重庆大学

作者

  • 1篇张兴元
  • 1篇黄佳木
  • 1篇刘园园
  • 1篇何国庆

传媒

  • 1篇实验室研究与...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进被引量：1
2013年
针对JGP-560B型磁控溅射仪存在基片台可放置基片的数量及尺寸有限、同批不同样品成分的一致性难以保证等问题,将设备的基片挡板转盘改进成了一次可放置较多数量基片,并能实现连续旋转的新基片台。结果表明:通过优化可编程控制器端口的接线,既保留了JGP-560B磁控溅射仪的原设计功能,又实现了挡板转盘的软件可控连续旋转,且可通过LED灯指示挡板转盘的旋转状态;在挡板转盘上,根据靶离子的有效溅射范围设计的5个基片位,满足了一次最多可放置20片载玻片基片的实验需求。该技术改进有效满足了多基片一次性沉积均一多元薄膜的实验要求,为JGP-560B磁控溅射仪基片台的技术改进提供了改进思路和有效方案。
张兴元何国庆刘园园黄佳木
关键词：磁控溅射可编程控制器
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