陈佳
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金陕西省教育厅科研计划项目国家级大学生创新创业训练计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性被引量：1
- 2017年
- 采用光刻技术、刻蚀技术和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在线阵掩模微结构表面沉积了SiO2和Si3N4薄膜,研究了线阵掩模的宽度和厚度,以及薄膜的厚度和沉积速率对SiO2和Si3N4薄膜复形性的影响,制备得到了具有良好微结构形貌的微结构滤光片阵列。结果表明,薄膜沉积速率越大,薄膜的复形性越好;掩模厚度和薄膜沉积厚度的增加会导致薄膜的复形性变差;SiO2薄膜的复形性优于Si3N4薄膜的。
- 潘永强陈佳
- 关键词：光刻等离子体增强化学气相沉积
- 微结构窄带滤光片设计及制备工艺研究被引量：8
- 2017年
- 为了提升微结构窄带滤光片的光谱透过率,增大微结构单元的制备精度,提出一种新的膜系镀制方法和微结构单元的制备方法。基于法布里-珀罗(F-P)多光束干涉仪原理设计了3种不同中心波长的窄带滤光片,采用光化学掩模分离法和PECVD技术相结合,制备出3种中心波长分别为480nm、520nm和590nm,峰值透过率均大于80%,半宽度30nm^50nm,微结构单元的通道面积为50μm×50μm的窄带滤光片。光谱透过率得到了提升的同时微结构单元边缘整齐、分界线清晰,精度也得到了有效地增加,达到μm量级。
- 潘永强陈佳
- 关键词：微结构窄带滤光片PECVD
- 光学薄膜减散射特性研究被引量：3
- 2016年
- 为了降低光学薄膜的表面散射损耗,依据微粗糙面的一阶微扰理论,在不考虑多重散射效应的情况下,利用电磁场边界条件给出的光学薄膜任一界面粗糙度引起的散射场在入射介质中的表达式,重点讨论了单层光学薄膜实现零散射的条件以及实现减散射的条件,理论研究结果表明:当膜层的光学厚度为λ/4的偶数倍时,单层薄膜要实现减散射就必须使单层膜的折射率大于基底的折射率,且空气-薄膜界面的微粗糙度必须小于薄膜-基底界面之间的微粗糙度。当膜层的光学厚度为λ/4的奇数倍时,单层薄膜的折射率小于基底的折射率,且膜层两个界面的粗糙度必须满足特定条件,才能实现减散射的效果。
- 潘永强陈佳
- 关键词：光学薄膜表面粗糙度
- 光谱选择反射型太阳隔热膜研究被引量：1
- 2015年
- 目的研制具备高紫外光阻隔率、高红外光阻隔率、高可见光透射率的太阳隔热膜。方法依据标准大气光谱和隔热膜的基本原理给出理想隔热膜的透射率光谱曲线,在防止室内眩光的基础上给出太阳隔热膜的实用透射率曲线。通过对金属Ag薄膜光学常数的研究,提出基于介质ZnS和金属Ag的多层结构的选择反射型太阳隔热膜结构,利用TFC膜系软件设计三层结构的选择反射型太阳隔热膜并进行允差分析。采用热蒸发技术制备该选择反射型膜太阳隔热膜。结果隔热膜在0.3-0.38μm紫外波段的阻隔率达到99.2%,在0.38-0.78μm可见光波段的平均透射率为75.2%,在0.78-2.5μm红外波段的阻隔率达到91.2%,太阳能总隔热率为62.1%。结论研制的太阳隔热膜能在保证隔离紫外线辐射和红外热辐射的同时满足对可见光具有较高的透射率。
- 张明潘永强陈佳栗旭阳杨飞
- 关键词：透射率光学常数热蒸发
