邹娟娟
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：上海市青年科技启明星计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 一种用于检测薄膜均匀性的光谱方法被引量：4
- 2011年
- 介绍了一种新的简单有效的薄膜均匀性信息获取方法。该方法基于我们先前提出的纳米薄膜厚度精确测量方法,它通过检测镀制在含有过渡层的衬底上不同位置的薄膜的光谱,并由其干涉峰间的差异获取薄膜的均匀性信息。与传统方法相比,该方法无需直接测量薄膜的厚度,减少了测量膜厚带来的误差和影响,因而可以快速得出薄膜均匀性结论。该方法操作方便、计算简单,为改进镀膜工艺提供了重要参考。
- 姬弘桢邹娟娟
- 一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法被引量：4
- 2011年
- 提出了一种新的薄膜厚度测量方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底,通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化,即可实现薄膜厚度的精确测量。由于过渡层的厚度已经引起干涉,新镀上去的待测薄膜即使很薄,也会引起干涉的变化。通过镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化,可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度,其测量极限高达1nm以上。该方法既保持了传统光谱法的所有优势,又可以精确测量纳米超薄膜的厚度。它非常简单、快捷,特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量。
- 姬弘桢邹娟娟崔宝双
- 关键词：厚度
