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朱建豪

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：香港城市大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米复合膜
  • 1篇结合力
  • 1篇溅射
  • 1篇复合膜
  • 1篇SI
  • 1篇超硬
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇TI-SI-...

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇香港城市大学

作者

  • 1篇徐晔
  • 1篇蔡珣
  • 1篇陈秋龙
  • 1篇李刘合
  • 1篇朱建豪

传媒

  • 1篇上海交通大学...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流磁控溅射Ti-Si-N超硬纳米复合膜的结构与力学性能被引量：4
2007年
采用Ti-Si复合靶在321不锈钢基体上用直流磁控反应溅射方法制得超硬纳米复合Ti-Si-N膜层,并借助能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、X光电子谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、纳米压入仪和划痕仪对膜层的成分、结构和力学性能进行了分析.结果表明:随着膜层中Si含量的增加,Ti-Si-N膜的硬度逐渐升高,当a(Si)=11.2%时达到峰值42 GPa;随着Si含量的进一步增长,膜层硬度开始下降.XRD和XPS结果显示,最硬的Ti-Si-N膜层包含大小约为8 nm的TiN纳米晶以及包围在其周围的非晶态Si3N4.XRD结果显示,随着Si的引入,膜层中TiN晶粒的择优取向由纯TiN膜层中的(111)变为Ti-Si-N膜层中的(200).划痕实验也显示了Si的添加对膜层结合力的影响.最后对该纳米复合膜的强化机制进行了探讨.
徐晔李刘合蔡珣陈秋龙朱建豪
关键词：结合力
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