徐展
- 作品数:3 被引量:1H指数:1
- 供职机构:华侨大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术电气工程理学更多>>
- 溅射功率对CoFeB薄膜磁与结构特性的影响被引量:1
- 2016年
- 以不同功率溅射制备了CoFeB合金薄膜样品并在高真空下退火处理。发现低功率生长的薄膜始终具有磁各向同性,而高功率生长的薄膜随着退火温度的升高,由起始的单轴磁各向异性逐渐向磁各向同性转变。X射线衍射分析也印证了CoFeB薄膜随退火温度的升高,薄膜由非晶态逐渐向结晶态转变。当退火温度高于400℃时,低功率生长的CoFeB样品的矫顽力大于高功率生长薄膜的矫顽力。同时发现低功率生长的CoFeB的(110)峰值高于高功率生长的样品峰值,表明低功率生长的薄膜晶粒尺寸更大。
- 黄亚徐展邱于珍陈传文庄凤江苏少坚王可
- 关键词:溅射功率退火处理磁性能
- TbFeCo垂直合金薄膜磁及热特性研究
- 黄亚徐展董硕邱于珍王可
- 退火温度对Co_2FeAl薄膜磁与结构特性的影响
- 2018年
- 用磁控溅射法制备了一系列Co_2FeAl合金薄膜,并进行了退火处理。利用振动样品磁强计(VSM)和X射线衍射(XRD)对样品进行表征,研究了溅射功率和退火温度对Co_2FeAl薄膜磁与结构特性的影响。高功率下制备的沉积态薄膜就具有强磁性,同时也具有单轴磁各向异性;而对应的低功率下制备的沉积态薄膜则呈现出弱磁性。300℃退火后出现单轴磁各向异性;700℃退火后,所有薄膜均表现为磁各向同性。随着退火温度的升高,薄膜的矫顽力变大。X射线衍射分析表明,随着热处理温度升高,薄膜的晶粒尺寸增大,从而导致晶粒间磁耦合作用增强,这与薄膜的磁特性结果相一致。
- 徐展庄凤江苏少坚陈传文王可
- 关键词:溅射功率退火温度磁各向异性