张丽明
- 作品数：10 被引量：4H指数：1
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- 溅射参数对ZnO薄膜物性的影响
- 2007年
- 采用磁控溅射方法分别在ITO玻璃和硅片上成功制备了具有良好C轴取向的ZnO薄膜.并研究了溅射气压,基底温度,以及氧偏压对ZnO薄膜物性的影响,从而确定了制备ZnO薄膜的最佳溅射条件.
- 张丽明王莹
- 关键词：ZNO薄膜溅射气压基底温度磁控溅射
- 高介电HfOxNy薄膜的制备及其光学性能研究
- 2009年
- 采用直流反应磁控溅射方法,在硅衬底制备了高介电HfOxNy薄膜。用椭偏仪研究了后期退火处理对薄膜光学性质的影响,结果表明,薄膜的折射率随退火温度的升高而增加,这主要是由于高温退火导致薄膜内部缺陷减少,使得薄膜松散的内部结构变得更加致密;薄膜的消光系数随退火温度的升高而降低,这是由于因为退火后薄膜内的缺陷减少。光学禁带宽度随退火温度的升高而增加,这是由于退火过程中薄膜中N含量的减少而导致。
- 王莹张丽明杨更须
- 关键词：直流反应磁控溅射椭偏仪光学特性
- 丙酸异丁酯的催化合成被引量：1
- 2009年
- 以硫酸镓为催化剂,丙酸和异丁醇为原料合成了丙酸异丁酯。考察了催化剂用量、醇酸物质的量比、反应时间及催化剂重复使用性等因素对收率的影响。适宜反应条件下收率可达85.9%。
- 邹雪艳张丽明陈丹云
- 关键词：丙酸异丁酯催化
- HfOxNy薄膜的制备及其性能研究
- 2008年
- 本文采用磁控溅射法制备了HfOxNy高介电薄膜,结合XRD、XPS等手段研究了退火温度对薄膜的结构和化学键态的影响,发现N的掺入使Hf4f峰位向低能方向移动.而随着退火温度的升高,Hf4f的双峰峰位向着高结合能的方向移动,这表明N的含量随着退火温度的升高而降低.XRD结果显示N的掺入能提高薄膜的晶化温度.
- 王莹张丽明
- 关键词：磁控溅射退火温度
- 氧偏压对ZnO薄膜结构的影响被引量：1
- 2008年
- 采用磁控溅射方法在ITO玻璃上成功制备了具有良好c轴取向的ZnO薄膜.并研究了氧偏压对ZnO薄膜结构的影响.研究发现:当氧偏压为60%时,薄膜的结晶性最好.当氧偏压继续升高时将导致薄膜的结晶性变差,晶粒尺寸变小,晶界增多,薄膜表面粗糙度增加,对光的散射和吸收作用增强,从而导致光的透过率降低.
- 张丽明刘万玲
- 关键词：ZNO薄膜XRD透射率
- 衬底温度对HfO_xN_y薄膜相关物性的影响
- 2009年
- 采用射频反应磁控溅射法制备了HfOxNy栅介质薄膜,并研究了HfOxNy栅介质薄膜的化学特性和界面结构随淀积温度的变化而发生的变化规律。光电子能谱测试表明,随着衬底温度的升高,薄膜中的氮含量也随之增加。傅立叶红外吸收光谱研究表明,随着淀积温度的增加,界面层SiO2的厚度也逐渐增高。
- 张丽明王莹
- 关键词：射频反应磁控溅射化学特性
- 氮偏压对α-GaAs_(1-x)N_x薄膜性能的影响
- 2012年
- 采用磁控溅射方法在硅片上制备了不同氮偏压下的非晶GaAs1-xNx薄膜,结合拉曼光谱仪和椭偏仪等手段对样品进行了表征。结果表明,掺入氮气后,α-GaAs薄膜的拉曼光谱有明显变化;随着氮偏压的升高,α-GaAs1-xNx薄膜的折射率和消光系数逐渐减小,其峰值向短波长略微移动。另外,α-GaAs1-xNx薄膜在红外和近红外波段内几乎是透明的。
- 张丽明王莹
- 关键词：磁控溅射拉曼光谱仪椭偏仪
- 硫酸高铈改性离子交换树脂催化合成尼泊金丁酯被引量：1
- 2008年
- 首次采用硫酸高铈与阳离子交换树脂反应制备的改性离子交换树脂为催化剂合成尼泊金丁酯。考察了催化剂用量、醇酸物质的量比、反应时间及带水剂等因素对收率的影响。结果表明,该催化剂具有催化活性高、后处理方便,废液排放量少等优势。最佳反应条件为:醇酸物质的量比3,催化剂0.5 g,反应时间5 h,收率达93.1%。
- 张丽明
- 关键词：尼泊金丁酯催化
- 衬底温度对HfO_xN_y薄膜光学性质的影响
- 2009年
- 采用射频反应磁控溅射法制备了HfOxNy栅介质薄膜,并研究了HfOxNy栅介质薄膜的光学特性随淀积温度的变化而发生变化的规律.椭偏仪模拟结果显示HfOxNy薄膜的折射率和消光系数都是随衬底温度的升高而增加,根据消光系数和吸收系数还得到了HfOxNy薄膜的光学带隙值,随着衬底温度的升高,带隙减小,这主要是由于N含量的增加所致.
- 张丽明王莹
- 关键词：射频反应磁控溅射椭偏仪光学特性
- 硫酸氢钾催化合成异戊酸丁酯被引量：1
- 2009年
- 以异戊酸和正丁醇为原料,采用不溶于反应物系的硫酸氢钾为非均相催化剂合成了食用香料异戊酸丁酯。考察了催化剂用量、醇酸物质的量比、回流反应时间、催化剂重复使用性及带水剂种类等因素对目标产物收率的影响。结果表明该催化剂具有催化活性高,反应时间短,出水速率快,价廉易得,稳定性好,合成工艺流程简单,操作方便,不易腐蚀设备等诸多优势。由于该催化剂难溶于反应物系,因而易分离回收,废液排放量少,回收的催化剂不经任何活化处理便有良好的重复使用性。硫酸氢钾是合成异戊酸丁酯高效、经济且环境友好的非均相催化剂,具有一定工业化应用前景。适宜反应条件为:异戊酸0.2mol,正丁醇与异戊酸物质的量比1.4,催化剂1.5g,回流反应时间60min,带水剂甲苯5mL,产品收率达92.5%。
- 周慧张丽明蔡永红何建英陈丹云
- 关键词：硫酸氢钾催化
