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祝向荣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇位错
  • 1篇位错密度
  • 1篇显微镜
  • 1篇显微镜测量
  • 1篇刻蚀
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赵智彪
  • 1篇李伟
  • 1篇齐鸣
  • 1篇李爱珍
  • 1篇祝向荣

传媒

  • 1篇第六届全国分...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子力显微镜测量光辅助湿法刻蚀后的氮化镓并估算其位错密度
对采用分子束外延技术生长的氮化镓进行位错密度的分析,目前的报道并不多.本文介绍了采用光辅助湿法刻蚀氮化镓后进行原子力显微镜(AFM)的分析,可以估算氮化镓的位错密度.并采用X-ray衍射的二维三轴maping图谱(TDT...
赵智彪齐鸣李爱珍李伟祝向荣
关键词：氮化镓分子束外延位错密度湿法刻蚀
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