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陈苗岐

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇芯片
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器芯片

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇王江
  • 1篇陈苗岐

传媒

  • 1篇信息技术

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微结构传感器芯片划切工艺优化
2013年
MEMS传感器技术的发展,伴随着新结构、新材料、新工艺应用在晶圆制造中[1]。这对封装核心工序的划片工艺提出了很大挑战。主要通过芯片划切过程中容易出现的几个异常现象对微结构敏感芯片划切过程中的破片进行分析,提出了一些解决微结构芯片划切过程中存在问题的办法,并进行了划切参数的优化。
王江陈苗岐
关键词：芯片
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共1页<1>
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