王延平
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：西南科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防基础科研计划四川省教育厅青年基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能被引量：3
- 2011年
- 以Ar、CH_4和CO_2为反应气源,以三聚氰胺的甲醇饱和溶液为掺杂源,用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅基体上制备了掺氮的金刚石薄膜;用原子力显微镜、拉曼光谱以及霍尔效应测试仪等手段表征了膜的组成结构和半导体特性。结果表明:掺氮的金刚石薄膜晶粒平均尺寸约为20nm,表面粗糙度约为8.935nm,其拉曼光谱为典型的纳米金刚石膜特征峰形;掺氮膜材的电导率高达0.76×10~2Ω^(-1)cm^(-1),载流子浓度达到2.18×10^(19)/cm^3,是一种导电性能优良的n型半导体纳米金刚石膜。
- 王延平王兵熊鹰周亮
- 关键词：无机非金属材料微波等离子体化学气相沉积N型掺杂纳米金刚石薄膜
- 掺硼金刚石薄膜二次电子发射特性的研究被引量：1
- 2009年
- 掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等方面都有着巨大的应用价值,引起人们的注意。从二次电子发射的机理以及影响二次电子发射系数的因素等方面,对如何利用MPCVD法制备出高二次电子发射系数的掺硼金刚石薄膜进行了综述。论述表明通过合适的工艺条件,对薄膜表面进行适当的处理,是可以制备出高二次电子发射系数的阴极用金刚石薄膜的。
- 王玉乾王兵甘孔银李凯潘清黎明王延平
- 关键词：二次电子发射化学气相沉积
- 氧化铝基体表面预处理对金刚石薄膜生长的影响被引量：1
- 2009年
- 采用微波等离子体化学气相沉积方法,在经不同预处理的氧化铝衬底上沉积金刚石薄膜。用X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、扫描电镜(SEM)对所得薄膜的成分、物相纯度和表面形貌进行表征,比较不同的预处理方式对金刚石薄膜生长的影响。结果表明,基体表面经过熔融碱腐蚀后形成薄膜的膜基结合良好且膜材质量最佳,但表面平整度较低;而基体只经金刚石微粉乙醇悬浊液超声处理则在沉积时金刚石容易成膜,且结构要更为致密;在经过酸腐蚀的基体上沉积金刚石薄膜时,容易在薄膜与基体之间先形成过渡层,而后才进行金刚石薄膜的沉积。所得结果表明熔融碱腐蚀处理是获得电学应用氧化铝基金刚石薄膜复合材料的最适宜的基体表面预处理。
- 孟祥钦王兵王玉乾甘孔银李凯王延平何婷
- 关键词：氧化铝金刚石薄膜MPCVD
- 金刚石薄膜/氧化铝陶瓷复合材料的应用研究被引量：1
- 2010年
- 氧化铝陶瓷基片的广泛应用以及金刚石薄膜自身优异的物理化学性能,使得氧化铝基金刚石薄膜复合材料成为研究热点。阐述了这种复合材料不同的制备方法,综述了氧化铝基金刚石薄膜复合材料的性能,介绍了超纳米金刚石薄膜在氧化铝陶瓷基片上的应用研究,指出通过适当的基体表面预处理以及合适的工艺条件可以制备出不同用途的氧化铝基金刚石薄膜复合材料。
- 孟祥钦王兵甘孔银王延平何婷
- 关键词：氧化铝陶瓷金刚石薄膜化学气相沉积纳米材料
- 微波功率对掺氮纳米金刚石薄膜组成、结构及性能的影响被引量：1
- 2012年
- 以CH4和CO2作生长金刚石薄膜的反应气体,以Ar作载气将三聚氰胺甲醇饱和溶液带入沉积室内作氮掺杂源,用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅衬底上制备出掺氮纳米金刚石薄膜。通过拉曼光谱、原子力显微镜、霍尔效应研究了掺氮纳米金刚石薄膜的组成、结构和导电性能,重点研究了微波输入功率对薄膜特性的影响。结果表明,制备的掺氮纳米金刚石薄膜具有良好的电子导电性,且随着激发等离子体微波功率的增大,其晶粒尺寸、晶界宽度、表面粗糙度和电导率增大,在最佳微波功率条件下制备出电子电导率高、材料质量好的纳米金刚石薄膜。
- 王兵王延平熊鹰周亮叶勤燕
- 关键词：微波等离子体纳米金刚石薄膜电导率
