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李宁

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇微结构
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇缓冲层
  • 1篇薄膜微结构
  • 1篇ZNO
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇陈金菊
  • 1篇邓宏
  • 1篇李宁

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
石英衬底上Au缓冲层对ZnO薄膜微结构的影响被引量：2
2010年
采用单源化学气相沉积(SSCVD)法,在石英衬底上以Au为缓冲层,Zn4(OH)2(O2CCH3)6.2H2O为固相源制备ZnO薄膜。SEM和XRD测试ZnO薄膜的微结构,结果表明:相对于SiO2衬底上生长的ZnO薄膜,Au/SiO2衬底上生长的ZnO薄膜具有较好的结晶质量和表面平整度;对制备ZnO薄膜的衬底温度进行了工艺优化,结果表明:500℃时制备的ZnO薄膜颗粒大小均匀,结晶质量较好;通过荧光光谱仪对Au/SiO2衬底上的ZnO薄膜进行光致发光(PL)谱测试,ZnO薄膜在400nm出现紫光发射峰,而没有出现与缺陷相关的深能级发射峰,表明ZnO薄膜具有较好的结晶质量。
李宁陈金菊邓宏
关键词：化学气相沉积缓冲层ZNO薄膜
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