周扬
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 三维微柱阵列电极的电化学性能(英文)被引量：1
- 2012年
- 随着MEMS技术的发展,对微纳尺寸器件的需求日益凸显,微能源的研究变得尤为重要,而微型超级电容器则是其中一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件.设计了一种基于氧化钌功能薄膜的三维微柱阵列电极,并进行了相关的扫描电镜(SEM)、循环伏安(CV)和交流阻抗谱(EIS)测试.测试表明在2 mm×2 mm的硅片上,直径为50μm、高为100μm的三维微柱阵列电极的比电容为2.43 F/cm2,具有良好的电化学性能.与同容量的二维平面电极相比,基于三维结构的微型超级电容器具有明显的小尺寸优势.
- 王晓峰李翔宇陈学坤周扬尤政
- 关键词：MEMS氧化钌比电容
- 基于聚吡咯微电极的MEMS微型超级电容器的研究被引量：8
- 2011年
- MEMS微能源是指采用微加工技术制作实现能量的获取与转换、存储与释放的微纳器件与系统,而微型超级电容器则是一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件,可作为能量存储单元在MEMS微电源系统中获得应用。设计制作了一种具有两腔并排式结构的微型聚吡咯超级电容器。该微型超级电容器由微结构,微电极功能薄膜以及酸性电解液构成,其微结构是基于ICP刻蚀等微加工工艺加工实现的,而微电极功能薄膜是通过电化学沉积工艺在集流体表面沉积聚吡咯功能薄膜制备而成的。测试结果表明上述微型超级电容具有6.6mF/cm2的比容量,其能量密度能达到3mJ/cm2。电化学测试结果表明,与纯聚吡咯膜相比,聚吡咯/碳纳米管复合功能薄膜阻抗显著降低,容量明显提高,基于上述复合功能薄膜的微型超级电容器其充放电性能可得到显著改善。
- 周扬王晓峰张高飞阮勇尤政
- 关键词：MEMS聚吡咯碳纳米管比容量
