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白震

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 7篇探测器
  • 5篇物镜
  • 5篇显微物镜
  • 4篇四象限探测器
  • 4篇自动检测算法
  • 4篇非接触
  • 4篇非接触式
  • 4篇测算法
  • 3篇信号
  • 3篇误差信号
  • 3篇光电
  • 3篇光电探测
  • 3篇光电探测器
  • 2篇电机
  • 2篇压电
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射光学

机构

  • 11篇中国科学院上...

作者

  • 11篇魏劲松
  • 11篇白震

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种精密离焦检测装置及检测方法
一种精密离焦检测装置及检测方法，包括离焦检测光路的构建，离焦检测算法的实现，对离焦量的检测和补偿，数据的记录等步骤。根据系统的精度和动态范围的需求，设计不同的光路，选择不同的显微物镜和柱面镜，通过改变显微物镜，两个柱面镜...
白震魏劲松
压电陶瓷响应频率的非接触式测量装置及测量方法
不同负载下压电陶瓷响应频率的非接触式测量装置及测量方法，包括聚焦光路的构建，自动检测算法的实现，对不同负载下压电陶瓷响应频率的测量，数据的记录和分析等步骤。通过激光器、聚焦物镜、光电探测器等构建一个聚焦光路。当压电陶瓷搭...
白震魏劲松
文献传递
样品中心的检测装置及检测方法
样品中心的检测装置及检测方法，包括检测光路的构建，自动检测，电机运动控制算法的实现。通过改变显微物镜、柱面镜、光电探测器之间的距离，来改变末端光强信号分布随前端物镜和样品间距变化的灵敏度。当显微物镜出射光斑脱离样品表面时...
郑金轮白震王正伟魏劲松
文献传递
基于无掩膜光刻机极坐标下刻写大范围任意图形的方法
一种基于无掩膜光刻机极坐标下刻写大范围任意图形的方法，包括激光与旋转平台的对准，大数据的直角坐标向极坐标的数据转换，数据传输与高精密运动台的实时同步控制等步骤。高速旋转式无掩膜光刻机运动平台由一个旋转电机和一个直线电机组...
白震魏劲松
电机垂直度的检测装置及检测方法
电机垂直度的检测装置包括激光器、扩束准直器、二维扫描振镜、两个半透半反镜片、手动调焦装置、显微物镜、辅助测试样品、扩束准直器、白光照明光源、聚焦镜片、CCD探测器、第一控制器、计算机、第二控制器和待测电机的二维平台，及检...
郑金轮白震王正伟魏劲松
文献传递
基于无掩膜光刻机极坐标下刻写大范围任意图形的方法
一种基于无掩膜光刻机极坐标下刻写大范围任意图形的方法，包括激光与旋转平台的对准，大数据的直角坐标向极坐标的数据转换，数据传输与高精密运动台的实时同步控制等步骤。高速旋转式无掩膜光刻机运动平台由一个旋转电机和一个直线电机组...
白震魏劲松
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电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法
电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法，包括自动聚焦光路的构建，自动检测算法的实现，对电机位移平台运动平整度的测量，数据的记录和拟合等步骤。通过激光、四象限探测器、像散透镜等构建一个自动聚焦光路，通过算法编程...
白震梁鑫魏劲松
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电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法
电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法，包括自动聚焦光路的构建，自动检测算法的实现，对电机位移平台运动平整度的测量，数据的记录和拟合等步骤。通过激光、四象限探测器、像散透镜等构建一个自动聚焦光路，通过算法编程...
白震梁鑫魏劲松
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电机垂直度的检测装置及检测方法
电机垂直度的检测装置包括激光器、扩束准直器、二维扫描振镜、两个半透半反镜片、手动调焦装置、显微物镜、辅助测试样品、扩束准直器、白光照明光源、聚焦镜片、CCD探测器、第一控制器、计算机、第二控制器和待测电机的二维平台，及检...
郑金轮白震王正伟魏劲松
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一种精密离焦检测装置及检测方法
一种精密离焦检测装置及检测方法，包括离焦检测光路的构建，离焦检测算法的实现，对离焦量的检测和补偿，数据的记录等步骤。根据系统的精度和动态范围的需求，设计不同的光路，选择不同的显微物镜和柱面镜，通过改变显微物镜，两个柱面镜...
白震魏劲松
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