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王颖

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：深圳信息职业技术学院更多>>
发文基金：广东省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇温差
  • 1篇空气流量传感...
  • 1篇感器
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研究

机构

  • 1篇武汉大学
  • 1篇深圳信息职业...

作者

  • 1篇余法红
  • 1篇龚汉东
  • 1篇余柏林
  • 1篇王颖

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于玻璃的流量传感器研究被引量：4
2010年
提出一种基于玻璃的空气质量流量传感器,该传感器具有制造工艺简单、测试范围宽和抗流体冲击能力强的特点。通过CFD软件模拟了传感器芯片在各种情况下的温度场分布,得到了流速与芯片上下游温差的关系曲线,理论分析表明基于玻璃的流量传感器最大流可测速可达10m/s。采用半导体工艺制备了基于玻璃的流量传感器,通过测试得到了芯片的输出信号电压和流速的关系曲线,在流速范围为0～10m/s时,输出信号电压没有出现饱和现象。当芯片表面掠过流速为10m/s时,测得芯片放大信号电压可达1.51V。
余柏林龚汉东王颖余法红
关键词：玻璃衬底空气流量传感器
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共1页<1>
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