张新宇
- 作品数：5 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：山西省国际科技合作计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 一种嵌入薄膜应变片传感器的切削力在线测量刀具系统
- 本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入薄膜应变片传感器的切削力在线测量刀具系统。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入薄膜应变片传感器的切削力在线测量刀具系统，包括信号采...
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- 文献传递
- 工艺参数对直流磁控溅射法制备氧化铝薄膜的试验研究被引量：4
- 2017年
- 采用直流磁控溅射法在载玻片和不锈钢基底上制备某设计要求的氧化铝薄膜,首先采用单因素法分别分析溅射功率、氧气流量、工作压强、负偏压及本底真空度等制备参数对薄膜沉积速率的影响;在此基础上设计正交试验,研究优化范围内溅射功率、氧气流量、工作压强对沉积速率的影响,并进行极差与方差分析。结果表明,在一定工艺参数范围内,随着溅射功率的增加,薄膜的沉积速率不断增大;氧气流量增加时薄膜的沉积速率不断下降;随着工作压强的增大,薄膜的沉积速率先增大后减小,在1.0 Pa时达到最大速率;加载的负偏压增加时,薄膜的沉积速率不断降低;本底真空度提高时薄膜的沉积速率不断增大;通过使用XRD衍射仪对制备的薄膜进行物相检测,研究结果表明,常温下不同氧气流量制备的氧化铝薄膜均为非晶态;获取了制备所需薄膜的较优的制备工艺。
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- 关键词：直流磁控溅射氧化铝薄膜沉积速率
- 直流、射频磁控溅射制备Al2O3薄膜工艺探索及其性能的研究
- 精密加工与制造技术的不断发展，要求薄膜传感器具有微小化、高灵敏度、高分辨率、耐高温等能在恶劣环境下正常工作的特性。而制备表面质量高、绝缘性好、抗损伤性强的传感器基底绝缘膜又是获得薄膜传感器优良性能的关键技术之一，本文利用...
- 张新宇
- 关键词：直流磁控溅射射频磁控溅射薄膜传感器
- NiCr薄膜传感器的切削力无线监测系统设计被引量：1
- 2016年
- 为了达到实时无线测量切削力的目的,设计了基于自主研制的NiCr合金薄膜测力传感器与ZigBee模块的切削力无线监测系统。传感器实时输出切削力电压信号,数据经ZigBee模块与RS-232线缆上传至上位机(LabVIEW),通过不同的LabVIEW显示面板获取准确的切削力应变与电压值并换算出切削力值,且在上位机中完成数据显示、存储与报表生成等任务。经由静态力学标定试验与实际切削力测量试验验证,切削力无线实时监测系统方案完成了基本的实时采集、无线传输与实时显示功能,具有较好的静态力学采集与实际切削力测量精度。
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- 关键词：ZIGBEE
- NiCr合金薄膜测力传感器设计制作与力学标定被引量：1
- 2016年
- 为了满足切削力信号精确测量的要求,制作了两种结构的切削力测量用镍铬合金薄膜传感器样品、可调式改良应变测试仪桥盒,进行了传感器静力学标定与实际切削力测量试验。使用DASP 36通道振动与噪声信号采集分析系统与YD-15型动态电阻应变仪进行采集与读取测量时的电压信号与应变信号,将采集的应变信号经MATLAB转换为压力应变曲线图,将传感器应变、输出电压值与其对应的理论仿真值进行对比,结果表明测量值与其误差较小,两种传感器的力学测量性能良好。
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