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乔瑾

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京信息科技大学传感技术研究中心更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教育委员会科技发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇芯片
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀速率
  • 1篇硅微机械
  • 1篇硅微机械陀螺

机构

  • 1篇北京信息科技...

作者

  • 1篇岳萍
  • 1篇朴林华
  • 1篇张福学
  • 1篇乔瑾
  • 1篇张伟

传媒

  • 1篇北京信息科技...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
无驱动结构硅微机械陀螺芯片的离子刻蚀技术
2015年
利用等离子体刻蚀理论和实验相结合的方法,实现了离子刻蚀无驱动结构硅微机械陀螺芯片技术。实验表明:离子刻蚀55μm硅的均匀性U=0.63%,选择比P=90∶1,刻蚀速率V=7.25μm/min,侧壁垂直度为90°±1°。应用该技术刻蚀出的芯片表面平整、光滑,解决了湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题,并提高了刻蚀速率。
乔瑾张伟岳萍朴林华张福学
关键词：微机械陀螺刻蚀速率离子刻蚀
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