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李伟民

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国地质大学（北京）材料科学与工程学院更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电特性
  • 1篇压强
  • 1篇室温
  • 1篇输运
  • 1篇输运特性
  • 1篇微结构
  • 1篇温下
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇光电特性
  • 1篇AZO
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇中国地质大学...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇郝会颖
  • 2篇李伟民
  • 1篇孔光临
  • 1篇曾湘波
  • 1篇廖显伯

传媒

  • 1篇功能材料
  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
室温下高速沉积AZO薄膜的研究被引量：1
2011年
在室温下,采用射频磁控溅射技术以较大的功率密度(7W/cm2)沉积了一系列掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,探索了溅射压强对沉积速率及薄膜性能的影响。结果表明,当工作压强为2.0Pa时,高速(67nm/min)沉积得到的薄膜的电阻率为2.63×10-3Ω.cm,可见光平均透过率为83%,并且在薄膜表面有一定的织构。
李伟民郝会颖
关键词：室温压强AZO磁控溅射
沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响被引量：1
2011年
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)法,成功制备出一系列从非晶到微晶过渡区域的硅薄膜。研究了气体压强对样品的微结构、光电特性、输运性质以及沉积速率的调控作用。结果表明,增大沉积气压可以提高材料的光敏性及沉积速率,但材料的结构有序度以及输运特性变差。
郝会颖李伟民曾湘波孔光临廖显伯
关键词：微结构光电特性输运特性
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共1页<1>
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