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陈威

作品数：21 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 10篇化学机械抛光
  • 10篇机械抛光
  • 8篇抛光
  • 6篇硅片
  • 5篇心轴
  • 5篇晶圆
  • 5篇半导体
  • 4篇引线
  • 4篇引线键合
  • 4篇引线键合机
  • 4篇键合
  • 4篇键合机
  • 3篇修整器
  • 3篇半导体设备
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电路
  • 2篇读数头
  • 2篇圆片
  • 2篇直线电机

机构

  • 20篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 21篇陈威
  • 5篇王伟
  • 5篇李伟
  • 1篇广明安
  • 1篇潘峰

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 9篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
化学机械抛光用运载器安全装置
本实用新型的目的是提供一种化学机械抛光用运载器安全装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有可固定于运载器上的座体，该座体上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。当运载器与运载器法兰直接采用真空固定时，本实用新型起...
陈威柳滨李伟郭强生
文献传递
一种CMP抛光垫修整器下压力控制系统
本实用新型涉及一种CMP抛光垫修整器下压力控制系统，它包括双作用气缸和分别与双作用气缸的活塞两侧缸腔连通的双工作压力回路，其中，在双作用气缸的活塞上侧缸腔与气源间的工作压力回路中依次安装有第一单向节流阀、气压传感器和电气...
廖垂鑫柳滨陈威
文献传递
一种用于晶圆化学机械平坦化设备中的抛光垫修整器
本发明公开了一种用于晶圆化学机械平坦化设备中的抛光垫修整器，主要由机架、电机、减速器、气囊、同步带和带轮、摆动臂、支撑轴、支撑底板、球头万向结构、检测传感器等部件组成。本装置主要是通过杠杆机构对气囊充气以带动摆动臂抬升、...
柳滨高文泉陈威郭强生
文献传递
全自动引线键合机相关键合工艺分析被引量：5
2008年
以全自动引线键合机之键合工艺为引导,介绍了全自动引线键合的结构组成,超声键合的键合过程,从理论上分析了焊接过程中的主要因素,得出焊接过程中的基本工艺参数,并结合键合过程初步探讨了这些基本工艺参数的调节方法。介绍了键合品质的检验和基于DOE试验设计的工艺优化方法。最后对最主要两种失效模式进行了理论上的初步分析。
广明安陈威潘峰
关键词：引线键合工艺参数
化学机械抛光心轴传动装置
本发明提供了一种化学机械抛光心轴传动装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。包括心轴自转机构，心轴升降机构和心轴公转机构，心轴的座套和转动架间设有四连杆机构，四连杆机构的上下相对的两杆件间装有可控制四连杆机构开合的气囊机构，...
陈威柳滨廖垂鑫
全自动引线键合机X－Y工作台
本发明涉及一种全自动引线键合机X－Y工作台，属于全自动引线键合机部件技术领域，本发明包括底座，所说底座上安装有横向驱动直线电机及纵向驱动直线电机，横向驱动直线电机驱动的横向动子上装有横向滑块，横向滑块上固定有横向光栅尺，...
张续业牛伟光陈威
文献传递
化学机械抛光设备硅片定位装片装置
本发明提供了一种化学机械抛光设备硅片定位装片装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有装载底盘，装载底盘上固定有装载引导环，装载引导环内设有第1斜倒角和第2斜倒角；装载底盘上设有水压喷嘴，水压喷嘴与可装在第2斜倒角上的硅片...
高文泉廖垂鑫陈威李伟王伟柳滨
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300mm硅片单面抛光机(CMP)的开发
柳滨郭强生陈威王东辉李伟陈波
“300mm硅片单面抛光机（CMP）的开发”是国家科技部02国家科技重大专项中“硅材料设备应用工程”（2009ZX02011）项目的课题之一。面向90-65nm极大规模集成电路用硅抛光片制备技术需求，自主研发300mm硅...
关键词：
化学机械抛光心轴传动装置
本发明提供了一种化学机械抛光心轴传动装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。包括心轴自转机构，心轴升降机构和心轴公转机构，心轴的座套和转动架间设有四连杆机构，四连杆机构的上下相对的两杆件间装有可控制四连杆机构开合的气囊机构，...
陈威柳滨廖垂鑫
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全自动引线键合机双预热物料夹持机构
本实用新型涉及一种全自动引线键合机双预热物料夹持机构，其包括一个上面安装有预热管支架的预热台和一个装有热台平板的加热台，所说预热管支架侧面与预热台隔热块连接，预热台隔热块固定在热台基体上，预热管支架上有两孔，分别装有加热...
张续业陈威牛伟光
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